adl电源

产品介绍

ADL GG 12 Beam              

输出：功率，1,2 kW  电压，2000 V  电流，1A

各种特殊设备可用于操作离子源（Kaufmann 和 ECR），也可根据要求提供其他输出电压或功率。

所有设备都可选配 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS 232/485。

 

特点

广泛用于离子束和等离子工艺技术

蚀刻、溅射等等

创新应用，包括微电子、光学、传感器

 

常用型号

ADL GG 03 Accelerator

ADL GG 03.1 Accelerator

ADL GG 08 Accelerator

ADL GG 12 Beam

ADL GG 12.1 Beam

 

技术数据

显示 3½ 位数字显示电流和电压

调节电流或电压调节

通过前面板或外部通过接口卡的手动操作模式

设定点 0 ... 100% 电流和电压标称值

精度 + / - 电流或电压标称值的 1%

电源输入

电源连接 230 V, + / - 10%, 50/60 Hz, PE

风冷一体式风扇，最高环境温度40°C

噪声发射 LpA <70 dB (A)

机械数据

尺寸（不含连接器） 宽度：218 mm (½ 19")，高度：132.5 mm (3 U)，长度 560 mm

重量（不含包装） 11 kg