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ADL GG 12.1 Beam
输出：功率，200W 电压，2000 V 电流，100 mA
各种特殊设备可用于操作离子源（Kaufmann 和 ECR），也可根据要求提供其他输出电压或功率。
所有设备都可选配 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS 232/485。
特点
广泛用于离子束和等离子工艺技术
蚀刻、溅射等等
创新应用，包括微电子、光学、传感器
常用型号
ADL GG 03 Accelerator
ADL GG 03.1 Accelerator
ADL GG 08 Accelerator
ADL GG 12 Beam
ADL GG 12.1 Beam
技术数据
显示 3½ 位数字显示电流和电压
调节电流或电压调节
通过前面板或外部通过接口卡的手动操作模式
设定点 0 ... 100% 电流和电压标称值
精度 + / - 电流或电压标称值的 1%
电源输入
电源连接 230 V, + / - 10%, 50/60 Hz, PE
风冷一体式风扇，最高环境温度40°C
噪声发射 LpA <70 dB (A)
机械数据
尺寸（不含连接器） 宽度：218 mm (½ 19")，高度：132.5 mm (3 U)，长度 560 mm
重量（不含包装） 11 kg